Active Shims für Nanometerauflösung und Langzeitstabilität: Justage mit piezobasierten „Unterlegscheiben“
Ändert sich innerhalb von Präzisionsmaschinen z. B. für die Halbleiterfertigung, Metrologie Anwendungen oder Inspektionssysteme ein Soll- oder Ist-Maß zwischen zwei Komponenten, kann es erforderlich sein, dieses nachzujustieren. Das ist z. B. dann der Fall, wenn die Maschine beim Anwender in Betrieb geht und erstmaliges Setzen nach der Installation, Driften oder Toleranzveränderungen auszugleichen sind. Klassische, aufRead more about Active Shims für Nanometerauflösung und Langzeitstabilität: Justage mit piezobasierten „Unterlegscheiben“[…]